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原词结果 | 译词结果

硬质多层膜研究进展

刘宏玉

金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2007.01.011

总结了硬质多层膜改善力学性能、摩擦性能、高温氧化性能、腐蚀性能的方法及进展,指出了有效途径.

关键词: 硬质膜 , 多层 , 力学性能 , 摩擦性能 , 抗高温氧化性 , 抗腐蚀性

气相沉积技术制备TiN类硬质膜

田永生 , 陈传忠 , 王德云 , 雷廷权

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2007.03.035

硬质膜由于具有良好的耐磨、耐蚀和耐热等特点,所以在航天、化工和机械等领域获得了日益广泛的应用,而硬质膜的组成和制备工艺也随之得到不断发展.本文综述了TiN类硬质膜的应用和制备硬质膜常用的气相沉积方法、工艺参数及其优缺点.阐明了制备工艺正向着以三束(电子束、离子束和激光束)为基础多种工艺复合的方向发展.而硬质膜正向着多元膜、梯度膜和纳米复合膜方向发展.

关键词: 硬质膜 , 陶瓷 , 制备工艺 , 进展 , 气相沉积

离子镀硬质装饰膜的发展与现状

李福球 , 林松盛 , 林凯生

电镀与涂饰

回顾了离子镀膜技术在硬质装饰膜领域的发展历史,介绍了仿金色、金色、玫瑰色、黑色等各种颜色装饰性硬质膜的特点及其应用领域,分析了各种离子镀硬质装饰膜技术(如阴极电弧技术、磁控溅射、阳极层离子源技术等)的特点和进步.

关键词: 离子镀 , 硬质膜 , 装饰 , 颜色

TiC/i－C复合硬质薄膜的制备和摩擦学行为的研究

严学俭

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.019

介绍一种TiC/i－C双层复合硬质薄膜，该复合膜由碳化钛（TiC）膜层和i－C（离子辅助沉 积）无定形硬质碳膜组成。采用反应磁控溅射的方法沉积碳化钛（TiC）膜层。随后在维持镀膜系 统真空度的情况下，利用等离子体分解结合高能离子轰击的方法不间断地连续制备i－C类金刚 石薄膜。TiC膜层对金属基片和表面i－C膜层都有良好的附着与结合强度，因此被用作中间过 渡层，而表面i－C膜层则保持了DLC薄膜硬度高和摩擦系数小等优良的性能。对TiC/i－C复 合膜的机械性能和摩擦学行为的测试显示该复合膜具有非常高的显微硬度及优良的摩擦学特性， 诸如很高的抗附着磨损、磨耗磨损、划痕磨损的性能及很低的摩擦系数。与TiC单层膜与DLC单 层膜比较，显示该TiC/i－C复合膜更能适合实际应用的需要，在国民经济中将有广阔的应用前景。

关键词: 复合膜 , 摩擦学行为 , 硬质膜

等离子体化学气相沉积(PCVD)硬质膜成膜理论

马胜利 , 徐可为

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2000.02.009

PCVD硬质膜是目前材料表面强化领域的研究热点.介绍了PCVD硬质膜的成膜理论、特点,讨论了等离子体引入化学气相沉积过程中所带来的一些变化,给出了现阶段PCVD成膜理论研究的现状、存在问题及发展趋势.

关键词: 等离子体化学气相沉积 , 硬质膜 , 成膜理论

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