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硅片抛光剂SiO2溶胶的制备和性能研究

温劲波

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.01.007

以NaOH和有机碱为介质,制成两种乳白色碱性SiO2溶胶,溶胶粒径在50~70nm范围,性能稳定.当SiO2浓度低于50%(质量分数)、pH=8.5~11时,溶胶可以长时间存放而不沉淀分层.超微SiO2颗粒细制成的两种SiO2溶胶粘度低,能通过中速滤纸.

关键词: SiO2溶胶 , 硅片抛光剂 , 超微细 , 稳定性

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