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张溪文 , 莫建良 , 瞿浩明 , 韩高荣
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.004
通过反射率、透射率参量测试和高分辨电镜分析，研究了硅薄膜中微晶粒数量、尺寸和分布对镀膜玻璃镜面反射效果的影响。发现通过一定的热处理工艺可以调整硅膜中的晶粒状况，得到硅微晶粒数量众多、分布弥散且晶粒大小在数十至数百纳米的硅／非晶硅复合薄膜，使入射光产生漫散射进而有效降低镜面反射所造成的光污染。
关键词: 镀膜玻璃 , 漫散射 , 硅微晶
