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光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化

刘月明 , 刘君华 , 张少君

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.01.004

本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化.从而为新型传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础.

关键词: 硅基双层微悬臂梁 , 光热激励 , 特性研究 , 仿真优化