陈少武
,
余金中
,
徐学俊
,
黄庆忠
,
余和军
,
屠晓光
,
李运涛
材料科学与工程学报
光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义.本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical interconnects)所涉及的若干种无源光子集成器...
关键词:
硅基光子学
,
片上光互连
,
CMOS微纳加工工艺
,
无源光子集成器件
,
光子线波导
,
微腔滤波器
