材料期刊网

C60薄膜的热处理性能研究

刘波 , 王豪

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.05.034

通过对Si(100)衬底上C60薄膜在不同温度处理后的AES谱线研究发现， C60分子于973K时开始分解，生成石墨类碳碎片，1073K时C原子已与Si原子键合形成SiC，1123K时C60分子全部分解. 这一研究结果对解释C60分子促进金刚石成核将起到重要作用.

关键词: C60薄膜 , AES , 石墨类碳碎片 , SiC