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刘昌龙
原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2001.03.008
简要地介绍了单晶Si中注入掺杂原子在热激活退火中发生的瞬间增强扩散现象, 综述了该现象发生的可能的微观机制和目前提出的几种抑制方法, 展望了高能重离子在该领域的应用前景.
关键词: 注入掺杂 , 瞬间增强扩散 , 单晶Si , 高能重离子
