马维刚
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王海东
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张兴
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过增元
工程热物理学报
电子元件的超微型化和高集成化,对金属互连线的导热性能提出极高的要求;同时,新型高性能光电材料的开发,又需要尽可能降低受光激发电子与声子之间的耦合.电子、声子的相互作用,对于能量转换与传递过程微观机理的研究至关重要.这些载能粒子的作用时间都在飞秒-皮秒量级,本文采用飞秒激光瞬态热反射方法,对铜薄膜中微观粒子作用过程进行了飞秒量级的实验研究.通过对实验系统精细调节,得到了理想的信号曲线,在此基础上测量了不同泵浦光功率下沉积在硅基底上厚度为60 nm铜薄膜的电子-声子耦合系数,测量结果为(11～12)×1016 W/(m3K),和理论值14×1016 W/(m3K)较为接近,并且不随泵浦光强发生变化.
关键词:
电子-声子耦合系数
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瞬态热反射
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飞秒激光
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铜薄膜
许孝芳
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高永锋
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周明
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任乃飞
功能材料
首先利用磁控溅射镀膜法分别用硅材料和玻璃作衬底制备了不同厚度的金属银薄膜,然后利用飞秒激光瞬态热反射技术（femtosecond transient thermoreflectance,简称FTTR）研究了金属薄膜内部电子非平衡弛豫时间。实验结果表明,相同基材、相同厚度的金属薄膜内电子非平衡弛豫持续时间是相同的。相同泵浦光功率时,电子非平衡弛豫持续时间与膜厚成反比。另外金属薄膜的衬底材料不同,对电子非平衡弛豫持续时间也有不同程度的影响。
关键词:
飞秒激光
,
瞬态热反射
,
银薄膜
,
非平衡弛豫持续时间
