孙维连
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程越
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王会强
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李新领
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孙铂
材料保护
为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律，在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明：ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加，但超过15mL／min后，膜的耐蚀性反而下降；ZrN膜耐蚀性随反应温度升高而增强；ZrN膜的耐蚀性随反应时间的增加越来越好，但超过15min后，膜的耐蚀性不再增强；以ZrN膜的耐蚀性为依据，最佳溅射工艺参数为N2流量15mL／min，反应时间15min，反应温度200℃。
关键词:
真空磁控溅射
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工艺参数
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ZrN膜层
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耐蚀性
张炜强
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胡松青
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李飞
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杜善波
腐蚀与防护
用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积(Zr,Ti)N复合镀层,改变溅射工艺参数(温度、Ar/N2流量比、基体偏压)制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30～60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异.结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大.从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,At/N2流量比60/30(SCCM),基体偏压120 V.
关键词:
真空磁控溅射
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(Zr,Ti)N复合镀层
,
工艺参数
,
耐蚀性
