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利用真空氮化炉制备六方氮化硼粉体工艺研究与表征

乐红志 , 田贵山 , 纪娟 , 张姗

硅酸盐通报

本研究用一种操作简单、适合规模化、低成本的方法制备六方氮化硼粉末.研究了硼、氮元素的物质的量比值,烧成制度,助熔剂的添加量对产物物相成份和颗粒形貌的影响,并对酸洗和碱洗对产物中杂质的去除效果进行了比较.用X-射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对制备的产物样品进行了分析表征,发现用该工艺制得的六方氮化硼纯度可达95.6%,去杂后纯度可达99%以上,晶粒直径约为0.2~0.5 μm,厚度在60~70 nm,晶粒尺寸比较均匀.

关键词: 六方氮化硼 , 真空氮化炉 , 颗粒形貌

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