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铁电薄膜移相器研究进展

余桉 , 杨传仁 , 张继华 , 陈宏伟 , 王波 , 张瑞婷

材料导报

铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线.介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向.

关键词: 移相器 , 铁电薄膜 , 相控阵天线 , BST可变电容 , BST薄膜

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