刘坤
,
杨剑
,
谷宏洁
,
毛昌辉
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2011.02.009
采用直流磁控溅射法在空芯玻璃微球表面镀Al膜,将空芯玻璃微球、镀AJ膜玻璃微球和高分子粘合剂按一定比例混合制成人工介质材料.用波导法测量人工介质材料的介电常数,并采用有效媒质理论对测试结果进行分析.结果表明,在8～12 GHz频率范围内,人工介质材料的介电常数随镀Al膜玻璃微球含量的增加而增加,其介电常数在2～5范围内可调.再经热处理工艺优化,人工介质材料的介电损耗正切值可降至0.015以下.
关键词:
直流磁控溅射法
,
空芯玻璃微球
,
介电常数
,
介电损耗
许静
,
唐一科
,
徐艳
,
范瑛
材料导报
用溶胶-凝胶法和直流反应磁控溅射法制备了表面均匀致密的三氧化钨薄膜,并用双光束紫外可见分光光度计和X衍射分别对薄膜的透光性、结构形态进行了测定;描述了退火温度对薄膜透光性和结构形态的影响,结果表明在高温(＞300℃)退火处理后薄膜的透光率下降,且退火温度越高透光率越低;在350℃以下退火处理后得到薄膜样品为非晶态,在350～400℃范围内退火处理,样品由非晶态向晶态转变.
关键词:
溶胶-凝胶法
,
直流磁控溅射法
,
透光性
,
结构形态
