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硅圆片表面活化工艺参数优化研究

聂磊 , 阮传值 , 廖广兰 , 史铁林

利用正交实验,对单晶硅表面活化工艺中重要参数对活化效果的影响进行了研究,并优化了工艺.实验针对RCA活化溶液处理工艺的特点,选择溶液配比、处理时间和温度3个重要因素为研究对象,以30%盐水为测试液,以接触角为指标,评估了这3个因素对活化效果的影响规律.对实验结果的分析表明,在此三因素中,活化温度与活化效果的关系最密切,活化液配比和活化时间的影响依次减弱.根据实验分析的结果,得到优化的工艺.利用此优化工艺进行了硅圆片键合实验,其结果表明此工艺能够实现无明显界面缺陷的直接健合.

关键词: 单晶硅 , 表面活化 , 直接键合 , 参数优化

硅基薄膜多结太阳能电池的结构、制备技术及其效率优化的研究

季鑫 , 杨德仁

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.03.029

综述了硅基薄膜多结太阳能电池的制备技术及进展,介绍了电池中间层、隧穿结、高倍聚光以及直接键合等硅基多结太阳能电池的各种新型制备技术.其次,评述了硅基多结太阳能电池在结构方面的研究现状.最后,针对带隙匹配、本征层以及减反膜等方面优化硅基多结太阳能电池效率的研究做了展望.

关键词: 硅基薄膜电池 , 中间层 , 最优厚度 , 直接键合 , 隧道结 , 聚光光伏

硅片的直接键合

王敬 , 屠海令 , 刘安生 , 张椿 , 周旗钢 , 朱悟新

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.05.013

介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.

关键词: 硅片 , 硅片键合 , 直接键合

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