欢迎登录材料期刊网
方志远 , 周和平 , 陈虎
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.04.012
本文采用直接敷铜工艺，1070°C流动氮气氛下保温3h制得剥离强度达11.5Kg/cm2的直接敷铜Al2O3基板.界面产物CuAlO2的形成是获得较高结合强度的关键.敷接温度下，在界面上产生了能很好润湿Al2O3表面的Cu［O］共晶液体，并反应生成了连续的CuAlO2层.降温时,共晶液体从Cu侧开始固化并淀析出Cu2O颗粒.当固化前沿与CuAlO2层相遇时，液相参与的界面反应停止.冷却至室温，即可获得Cu和Al2O3基板之间的牢固结合.
关键词: 直接敷铜法 , 剥离强度 , 界面产物
方志远 , 陈虎 , 周和平
无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.05.029
直接敷铜Al2O3基板已被广泛应用于大功率场合. 本文通过Cu箔表面预氧化生成Cu2O的方法引入氧, 1070C在Cu箔和Al2O3基板界面上所产生的Cu-Cu2O共晶液体促进了二者的牢固结合. 流动氮气氛下保温1h, 观察到了明显的界面产物层. SEM和XRD的分析表明, 界面产物相为CuAlO2.
关键词: 直接敷铜法 , 预氧化 , 界面产物
