肖慧明
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温中泉
,
张锦文
,
陈钢进
功能材料
驻极体微型发电机是近期提出的微电子机械系统开发中的一个新领域,驻极体电荷稳定性则是影响驻极体微型发电机性能的关键.用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备SiO2/ Si3N4双层膜,采用电晕充电和热极化方法对材料进行注极形成驻极体,探讨了器件加工工艺及存储环境对双层膜驻极体电荷稳定性的影响.结果表明,电晕充电后SiO2/ Si3N4双层膜的电荷存储稳定性明显优于SiO2单层膜;传统的电晕注极方法仅适用于大面积驻极体的制备,但对微米量级的材料表面不适用;微器件制备的工艺流程对驻极体电荷稳定性有显著影响,但存储环境对热极化驻极体电荷稳定性的影响很小.
关键词:
驻极体
,
微型发电机
,
SiO2/Si3N4双层膜
,
电荷稳定性
,
微器件加工
吴贤勇
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付晓明
,
夏钟福
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安振连
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张鹏锋
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王丽
,
李军
功能材料
通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.
关键词:
微型化
,
氮氧化硅驻极体
,
表面电导
,
电荷稳定性
功能材料
研究了经栅控恒压电晕充电的乙烯/四氟乙烯共聚物(ETFE)驻极体的电荷稳定性,并将其与几种重要的驻极体材料的储电性能进行了比较.结果显示,ETFE薄膜驻极体具有优良的电荷储存稳定性,负极性ETFE的电荷稳定性明显优于正极性样品.热处理工艺能明显改善ETFE驻极体的电荷储存寿命.本文还估算出两种极性ETFE驻极体的陷阱能级的活化能,阐明脱阱电荷的输运特性.
关键词:
乙烯/四氟乙烯共聚物
,
空间电荷驻极体
,
电荷稳定性
,
热处理
