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Influence of an External Magnetic Field on the Growth of Nanocrystalline Silicon Films Grown by MF Magnetron Sputtering

材料科学技术（英）

关键词: 薄膜生长 , 外部磁场 , 纳米晶硅 , 磁控溅射沉积 , 等离子体状态 , 非平衡磁控溅射系统 , 中频 , 电磁线圈

铝导线混合酸阳极氧化绝缘膜工艺

吴晶 , 纪嘉明

腐蚀与防护

试验研究了铝扁导线混合酸阳极氧化工艺方法,得到了绝缘性能优良的氧化铝膜.膜层击穿电压达到250V.同传统的硫酸阳极氧化工艺相比,该膜层脆性低、韧性好、槽温范围宽;同草酸阳极氧化工艺相比,该工艺所需时间短、耗能少、生产效率高.可以满足除铁器电磁线圈绕组导线的生产和使用要求.

关键词: 阳极氧化 , 绝缘 , 电磁线圈 , 混合酸