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Si含量对电弧沉积TiAlSiN薄膜性能的影响

秦聪祥 , 曾鹏 , 胡社军 , 汝强 , 吴键

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.06.005

利用等离子体辅助电孤沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜,并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响.XRD物相分析表明:薄膜主要由AlN和TiN组成.随着膜层中Si含量的增加,薄膜的结构由明显的柱状晶转变为致密的玻璃态结构,显微硬度逐渐提高,耐磨性能得到明显改善.

关键词: TiAlSiN , 电弧沉积 , 显微硬度 , 耐磨性

不同制备工艺对MoSi2涂层抗氧化性能的影响

张中伟 , 王俊山 , 许正辉 , 李承新

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2007.01.015

为解决MoSi2和SiC线膨胀系数差异,在带有SiC外涂层的C/C复合材料表面采用等离子喷涂、电弧沉积和固渗等工艺制备MoSi2涂层.涂层表面形貌分析发现,等离子喷涂MoSi2涂层多孔不致密,电弧沉积MoSi2涂层易开裂剥落;而固渗MoSi2涂层致密均匀,且界面结合力好.氧化试验也表明,固渗MoSi2涂层性能较好.

关键词: C/C复合材料 , MoSi2涂层 , 等离子喷涂 , 电弧沉积 , 固渗

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