付盛荣
,
熊斌
,
车录锋
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012
主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.
关键词:
陀螺
,
电容式
,
检测
,
分辨率
陆婷婷
,
秦明
,
黄庆安
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.050
本文提出了一种新型的多层梁结构的电容式温度传感器.传感器结构部分是由导体(或半导体)/介质层/导体(或半导体)组成的可变电容器.电容的上下极板分别为金属和衬底硅,中间介质层为二氧化硅层.与传统的温度传感器相比,这种结构的测温范围较宽.文中,应用多层梁理论模型分析了传感器的结构,并利用ANSYS有限元分析对模型进行了验证.当多层梁材料参数已知的情况下,选用大面积,低厚度,能够最大限度的提高传感器性能.
关键词:
多层梁
,
电容式
,
温度传感器
