马维刚
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王海东
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张兴
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过增元
工程热物理学报
电子元件的超微型化和高集成化,对金属互连线的导热性能提出极高的要求;同时,新型高性能光电材料的开发,又需要尽可能降低受光激发电子与声子之间的耦合.电子、声子的相互作用,对于能量转换与传递过程微观机理的研究至关重要.这些载能粒子的作用时间都在飞秒-皮秒量级,本文采用飞秒激光瞬态热反射方法,对铜薄膜中微观粒子作用过程进行了飞秒量级的实验研究.通过对实验系统精细调节,得到了理想的信号曲线,在此基础上测量了不同泵浦光功率下沉积在硅基底上厚度为60 nm铜薄膜的电子-声子耦合系数,测量结果为(11～12)×1016 W/(m3K),和理论值14×1016 W/(m3K)较为接近,并且不随泵浦光强发生变化.
关键词:
电子-声子耦合系数
,
瞬态热反射
,
飞秒激光
,
铜薄膜
