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SiCl4/H2辉光放电等离子体中电子特性的在线检测

SiCl4/H2混合气体被公认为低温沉积纳米晶以及多晶硅薄膜最具潜力的气源之一.首次利用加热可调谐Langmuir探针对等离子体增强化学气相沉积系统中的SiCl4/H2放电等离子体的电子浓度和电子平均能量进行了在线检测,并分析了电子特性随系统各参数:气体压强、射频功率及氢稀释度RH的变化规律.实验结果表明:随着气体压强的升高,电子浓度不断增大而电子平均能量不断减小;增大射频功率或减小氢稀释度RH,电子浓度和电子平均能量都相应增大.此外,并对实验结果进行了定性或半定量分析.本研究工作将有助于更好地理解SiCl4/H2放电机理,改善并优化沉积优质多晶硅薄膜的工艺参数.

关键词: 加热Langmuir探针 , 电子特性 , 沉积速率 , SiCl4/H2等离子体

氧气与水对碳纳米管纤维电子特性的影响?

黎业生 , 张伟波 , 赵曼 , 陈德明 , 吴子平

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.03.007

由于碳纳米管特殊的中空结构及高的比表面积，其对气体与液体的吸附有极大的先天优势。研究了不同环境下碳纳米管纤维对氧气与水分的吸附与解吸过程中其电子特性变化。电弧实验表明，碳纳米管纤维在较低电压(≤30 V)与相应电流下(＜2 A)可以产生强烈电弧，同时局部产生高温；高温易使纤维对氧气产生解吸，从而引起纤维电阻增大。室温条件下碳纳米管纤维对空气中水分子的吸附较对氧分子要强，水分子吸附增加了其表面羟基基团，使得其内部空穴数量减少，导电性降低，纤维电阻增大。

关键词: 碳纳米管纤维 , 氧气 , 水分 , 电子特性

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氧气与水对碳纳米管纤维电子特性的影响?

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