材料期刊网

电子束注入对多孔硅吸杂效果的影响

游小刚 , 谭毅 , 李佳艳 , 石爽 , 郭素霞

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.08.028

研究了电子束注入对多孔硅吸杂效果的影响。采用电化学腐蚀方法利用双电解槽在单晶硅片上制备多孔硅。电子束注入以后多孔硅的微观形貌发生了变化，通过3 min的电子束注入处理，硅片的电阻率发生了明显的改变，大于相同条件下经过快速热处理的硅片的电阻率，这充分证明了电子束注入有热效应与电场效应的双重作用，对去除杂质B有一定的效果。电子束注入时间对去除杂质的效果有一定的影响。

关键词: 多孔硅 , 电子束注入 , 吸杂 , 电阻率