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砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量

王万年 , 李成基 , 李韫言

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.007

计算了变加速电压的束感生电流法测定扩散长度理论公式,并用电子探针和扫描电镜测量了各种GaAs材料的扩散长度.

关键词: GaAs , 扩散长度 , 加速电压 , 电子束感生电流