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郭汉生 , Maus-Friedrichs W , Kempter V
材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.z1.012
为使俄歇电子能谱有效地用于分析氧化物,引入环境俄歇电子能谱方法.对于消除入射电子束对氧化物表面的损伤-包括荷电现象和氧元素电子受激脱附-6×10-6Pa O2环境比中和电子枪和低能正离子束优越,也比1.3×10-2Pa氩气环境有效.
关键词: 俄歇电子能谱 , 电子受激脱附 , 绝缘表面
