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Φ105 mm区熔硅单晶的生长工艺研究

郭立洲

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.022

介绍了FZ硅单晶的熔区悬浮原理, 说明了生产Φ105 mm FZ硅单晶所用多晶原材料的技术标准, 通过对不同形式的加热线圈进行分析, 指出了较理想的加热线圈, 讨论了反射器和改进后的晶体夹持装置的具体应用.对Φ105 mm FZ硅单晶的关键生长工艺进行了描述.

关键词: FZ硅单晶 , 加热线圈 , 夹持装置 , 生长工艺

水热法合成ZnO单晶生长工艺研究

尹利君 , 王晓刚 , 周南浩 , 余明清 , 张联盟

功能材料

采用水热温差法进行ZnO晶体的生长研究,分析在不同温度压力和矿化剂条件下分别合成几十纳米ZnO晶体和径向尺寸和高度到毫米级的ZnO晶体的生长工艺,探讨了晶体不同晶面生长速度和质量的一般规律及晶体生长机制.

关键词: 水热温差法 , ZnO晶体 , 生长工艺

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