欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(2)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

分离送入甲烷和氢气的热丝法沉积金刚石膜

陈广超 , 黄荣芳 , 闻立时

材料研究学报

采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷.使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20%.用此法制得的金刚石晶形较好.实验表明:反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大.

关键词: 热丝法 , null , null , null , null

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词