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高金海 , 张武勤 , 李桢 , 张兵临
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163109.0877
在纯平的陶瓷衬底上面，利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后，放入微波等离子体化学气相沉积腔中，利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜，通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器，研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等，得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。
关键词: 球状微米金刚石薄膜 , 场致电子发射 , 微波等离子体化学气相沉积
