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电阻率梯度PZT/ZnO压电复合陶瓷的结构与电性能

金灯仁 , 孟中岩

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.01.018

研制了具有电阻率和压电系数梯度的PZT/ZnO压电陶瓷,其本身也是一类独石型梯度功能压电陶瓷驱动器(FGMPA),并且它所需的驱动电场比La-PZT/Fe-PZT FGMPA低.分别用电子探针(EPMA)、X衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)查证了其组分、相结构和显微结构的梯度分布.结果表明,显微结构及电性能的梯度分布,主要是由Zn2+的扩散及其在PZT晶界富集造成的,它也是使PZT层中与界面相邻的部分区域电阻率下降的原因.XRD证实了在PZT层中ZnO第二相的存在.

关键词: PZT/ZnO复合陶瓷 , 梯度功能材料(FGM) , 电阻率梯度 , 独石梯度压电驱动器