欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(2)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟

张攀 , 王伟文 , 董海红 , 吴玉雷 , 陈光辉 , 李建隆

人工晶体学报

本文建立了三氯氢硅和氢气系统中混合气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合气相反应、表面反应的多晶硅气相沉积模型,利用流体力学计算软件(Computational Fluid Mechanics, CFD)Fluent6.2数值分析了气体进口速率、反应压力、表面温度和气体组成对硅化学气相沉积特性的影响,数值结果表明计算结果与相关实验数据吻合较好.分析表明在一定的条件下,硅沉积速率随温度、压力的升高而增加,在氢气浓度较高的情况下,硅沉积速率随氢气浓度增加而线性地降低.

关键词: 物质传递 , 化学气相沉积 , 数值模拟 , 多晶硅

海藻酸盐基微囊膜的物质传递性能

王云红 , 刘袖洞 , 于炜婷 , 戴小敏 , 马小军

膜科学与技术 doi:10.16159/j.cnki.issn1007-8924.2017.02.002

天然多糖海藻酸钠具有良好的生物相容性、生物降解性、黏附性以及独特的应力形变-释放特性,因此,海藻酸钠外覆聚电解质复合膜形成的微胶囊是很有前途的细胞培养和药物缓控释载体.膜的渗透分离特性决定了海藻酸盐基微囊的物质扩散传递行为,对其在生物医学领域的应用至关重要.本文主要综述了海藻酸盐基微囊膜的传质数学模型研究,概述了小分子物质、大分子蛋白以及氧气在海藻酸盐基微囊膜上的扩散传递行为,总结了材料物化性能、pH值等参数对微囊膜渗透性能的影响规律,对海藻酸盐基微胶囊的制备和应用具有较大的参考价值.

关键词: 海藻酸钠 , 微囊膜 , 物质传递

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词