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SEM/EDS分析纳米TiN颗粒在SiC陶瓷中的分布状况

张玲洁 , 郭兴忠 , 杨辉 , 朱潇怡 , 李海淼

材料科学与工程学报

采用水基喷雾造粒技术制备SiC/纳米TiN复合粉体,并借助二步成型和无压烧结技术制备SiC/纳米TiN复合陶瓷,利用场发射扫描电镜结合能谱分析(SEM/EDS)研究了纳米TiN颗粒在SiC/纳米TiN复合粉体、素坯及烧结体过程中的分布状态,借此评价制备工艺.

关键词: 物相分布 , 扫描电镜 , 能谱分析 , SiC , TiN

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