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燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

黄树涛 , 张志军 , 姚英学 , 袁哲俊

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.01.015

采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.

关键词: 燃焰法 , 金刚石薄膜 , 化学气相沉积

燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的研究

黄树涛 , 陈吉安 , 于骏一

功能材料

研究了气体流量比(O/CH)对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响,并以约50μm/h的较高速率沉积出了均匀、致密呈淡黄色透明状的高质量金刚石厚膜.

关键词: 燃焰法 , 金刚石厚膜 , 沉积

基体温度对金刚石厚膜沉积质量的影响

黄树涛 , 刘兴文 , 许立福 , 于骏一

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.03.028

为探讨燃焰法沉积高质量金刚石厚膜的可能及其沉积速率,在反应气体流量比O2/C2H2=0.97～1范围内,研究了基体温度对燃焰法沉积金刚石厚膜的影响.结果表明,基体温度在610～730℃范围内可沉积出均匀、致密、结晶形态优良的金刚石厚膜;金刚石厚膜沉积速率随基体温度的下降而下降,基体温度约为730℃时,可以约50μm/h的较高速率沉积出淡黄色透明状高质量金刚石厚膜.当基体温度在820℃左右的高温时,金刚石厚膜不均匀,晶粒间存在较大间隙,且在金刚石厚膜生长过程中,存在较多的二次成核.

关键词: 化学气相沉积 , 燃焰法 , 金刚石厚膜

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