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张伟 , 赵业权 , 高军
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.04.011
本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中,稀释气体Ar对沉积质量的影响.发现在成膜过程中适当量的Ar起到增大内焰体积、降低沉积速率和提高晶型质量的作用.文中分析了其原因,并实现了利用Ar来控制高质量金刚石薄膜的生长.
关键词: 燃烧焰法 , 金刚石薄膜 , 稀释气体
