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张伟 , 高军
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.03.013
本文采用燃烧焰法观察金刚石薄膜的成核生长过程.分析了衬底表面刻划及油污处理等因素对金刚石成核的影响.观察到成核初期的金刚石不具有明显晶形,含有较高的石墨相.XRD谱表明:成核初期衬底表面形成非金刚石结构的过渡层.并提出了控制成核密度提高沉积质量的思想.
关键词: 化学气相沉积法 , 燃烧焰 , 金刚石薄膜 , 成核
