材料期刊网

热灯丝CVD金刚石膜的微结构和形貌对其电子性质的影响

王万录 , 廖克俊 , 孔春阳 , 方亮 , 王蜀霞

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.024

利用热灯丝CVD法在硅衬底上合成出了金刚石膜。金刚石膜的质量和电子性质由扫描电 子显微镜、拉曼谱、阴极发光及霍尔系数测量来表征。实验结果表明，沉积条件对金刚石膜电子性 质和质量有重要影响。载流子迁移率随甲烷浓度增加而减少，但场发射随其增加而增强。压阻效 应随微缺陷增多而降低。异质外延金刚石膜压阻因子在室温下100微形变时为1200，但含有大量 缺陷的多晶金刚石膜压阻因子低于200。这是由于薄膜中缺陷态密度增加，并依赖于膜结构的变 化。

关键词: 金刚石膜 , 热灯丝 , 场发射 , 迁移率

CVD金刚石膜产业化制备技术研究

王兵 , 梅军 , 李力 , 季锡林 , 冉均国 , 苟立

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.01.007

为了解决化学气相沉积金刚石膜产业化进程中存在的生长速率慢、沉积尺寸小的难题,自行研制了适宜于大尺寸金刚石膜高速生长的电子辅助热灯丝式化学气相沉积(EAHFCVD)装置,通过反应气体中加氧将碳源浓度提高到10%以上,并优化反应压力与直流偏流密度二参数间的匹配,研究了该装置的生产特性,同时利用SEM、XRD和Raman光谱对沉积的金刚石膜进行了分析表征.研究结果表明,应用该装置高质量金刚石膜的沉积尺寸可达100 mm以上,生长速率达到约10 μm/h的水平,并制备出100 mm×1.5 mm的完整金刚石自支撑膜片,该技术可满足产业化生产的要求.

关键词: 热灯丝 , CVD金刚石 , 大尺寸 , 高速生长

碳纳米管膜在电解液中电子输运性质的研究

材料导报

研究了在电解液下碳纳米管膜中的电子输运特性.所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法合成的.与通常观测到的在碳纳米管膜/电解液界面存在的电化学势不同,实验结果表明,在电解液作用下碳纳米管膜与接触电极间也存在着明显的电势,并与介质溶液性质、浓度和温度有关.电势的大小随浓度和温度的增加而增加.并对实验结果进行了分析.

关键词: 碳纳米管 , 热灯丝 , CVD , 电势