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溶胶-凝胶法制备ZrO2缓冲膜的研究

于云 , 王晓萍 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.03.035

本文用溶胶-凝胶技术,以无机盐氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)为前驱体,在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜,并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜.通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明,不锈钢箔基体上的四方ZrO2膜在(200)晶面上有择优取向的特点,缓冲膜与基体之间存在着一定程度的互扩散作用.同时,法向热发射率的测试结果表明,850C热处理后材料仍能保持极低的热发射率(ε=0.043),说明缓冲膜有效地阻挡了金膜与基体之间的高温互扩散作用.

关键词: ZrO2 , 溶胶-凝胶 , 缓冲膜 , 热发射率 , 互扩散

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