聂祚仁
,
周美玲
,
张久兴
,
王金淑
,
左铁镛
中国稀土学报
利用装管发射、电子显微分析等手段系统地研究了含3%～5%(wt)Y2O3的Mo-Y2O3热阴极丝的电子发射性能和材料显微结构. 结果表明, Mo-Y2O3丝具有良好的热电子发射能力, 与W-ThO2阴极相比发射效率高、工作温度低. 经过与Mo-La2O3丝同样的碳化处理后, 用Φ 0.26 mm的Mo-Y2O3丝作阴极的实验电子管与Mo-La2O3阴极电子管相比发射性能更稳定. Mo-Y2O3阴极丝材的显微结构为具有亚结构的纤维状组织, 碳化层为粒状晶粒结构, 该结构有利于Y2O3迁移和输送到阴极表面.
关键词:
稀土
,
钼
,
Y2O3
,
阴极
,
热发射
杨超
,
蒋百灵
,
冯林
,
郝娟
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2015.00199
依据气体放电等离子体物理学知识,通过增加靶材的电流密度将靶面气体放电引入至辉光与弧光放电之间的辉弧放电过渡区.借助Ar+轰击靶面的碰撞动能和电子传输所产生的Joule热能,共同诱发靶面电子与原子克服表面逸出功的自发射.由此获得高密度、高离化和高能量的沉积粒子.实验分别在辉光放电区和辉弧过渡区各制备2组纯Ti薄膜.利用激光共聚焦显微镜(CLSM)对不同靶基距处的薄膜厚度进行测量,通过XRD,SEM, AFM和TEM对薄膜的微观结构进行观察,并使用涂层附着力划痕仪对薄膜的膜基结合力进行测试.实验结果表明:在辉弧放电过渡区内所沉积的纯Ti薄膜具有纳米尺度的晶粒、致密的组织、均匀的薄膜厚度、较快的沉积速率和优异的膜基结合强度.
关键词:
磁控溅射离子镀
,
气体放电伏安特性
,
热发射
,
离化率
漆世锴
,
王小霞
,
罗积润
,
胡明炜
,
李云
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160008
为了提高磁控管阴极的工作性能,采用新型La2O3/Y2O3-Gd2O3-ZrO2难熔盐浸渍W基制备直热式阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试.热发射测试结果表明,La2O3-Gd2O3-ZrO2浸渍阴极在1600℃可提供超过0.18 A/cm2的空间电荷限制区电流密度.在同等发射电流下,该浸渍阴极的工作温度比纯W阴极降低至少300℃,该阴极在1750℃,0.5 A/cm2直流负载下,可以连续工作2100 h.当以Y2O3代替La2O3,采用相同的配比制备阴极时,1400℃、1700℃下即可分别提供超过0.6、3.4 A/cm2的空间电荷限制区电流密度.Y2O3-Gd2O3-ZrO2浸渍阴极的工作温度比La2O3-Gd2O3-ZrO2浸渍阴极降低至少400℃,该阴极在1600℃,1.5 A/cm2直流负载下,可以连续工作2600 h.最后,对这两种新型含稀土氧化物难熔盐浸渍阴极的热发射机理进行了探讨.
关键词:
直热式阴极
,
稀土氧化物
,
热发射
,
寿命
,
发射机理
杨超
,
蒋百灵
,
郝娟
,
冯林
稀有金属材料与工程
针对溅射离子镀离化率低及多弧离子镀易产生微米级熔滴喷溅这一长期制约离子镀技术发展的难题,依据金属靶材内部电子在通过电阻值较大的组织缺陷处会导致该区域温度上升的焦耳热效应和金属表面高温下电子热发射等物理学现象,建立以离子碰撞和靶材热发射为脱靶机制的新型微弧离子镀技术.通过氩离子的轰击动能和金属靶材内电流的焦耳热效应共同促使靶面缺陷处温度迅速上升,增加了该区域内电子和原子的动能使其能够克服表面势垒从靶材表面大量逸出.等离子区内靶材原子和电子数量的增加提高了镀料粒子的碰撞离化率,且靶面未出现明显电弧避免了靶材表面的熔融喷溅,从而获得高离化率和高密度的镀料粒子.实验结果表明:微弧离子镀技术制备的TiN薄膜具有致密的结构、良好的表面质量、较高的显微硬度、较强的膜基结合力和良好的抗腐蚀性能.
关键词:
伏安特性
,
TiN薄膜
,
热发射
,
离化率
