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邱东江 , 吴惠桢 , 石成儒 , 徐晓玲 , 郝天亮
功能材料
采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响.热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3+.使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理的Si衬底上获得1010cm-2以上的高晶核密度.
关键词: 热丝碳化 , 金刚石 , 成核
