梁秀梅
,
陈巨才
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.03.019
晶体生长炉是晶体生长的基础.根据三硼酸锂(LBO)、偏硼酸钡(β-BBO)等晶体生长的要求,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉.本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择,给出了电气系统的基本框架及构件.实际测量表明:该炉控温精度在上温区为±0.135℃,中温区为±0.09℃,下温区为±0.136℃,高温区炉温均匀度为0.86℃,低温区炉温均匀度为-0.86℃.
关键词:
热场
,
三温区
,
控温精度
,
炉温均匀度
,
晶体炉
