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激光致晶化非晶态SnSeSbTm薄膜材料的研究

陈卓 , 刘喜明 , 王佳玲

材料导报

利用Nd-YAG激光器对采用物理气相沉积PVD方法制备的非晶态SnSeSbTm薄膜材料进行了激光晶化处理,晶化后TEM表明,薄膜材料由非晶态结构转变成晶态结构,实现了由非晶态到晶态的相变;从相变机理角度阐述了成分差异对相变程度的影响.

关键词: 激光致晶化 , 相变光盘 , 激光辐照度