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激光致溅射沉积Ge2Sb2Te5薄膜的结晶行为研究

刘波 , 阮昊 , 干福熹

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.03.043

利用XRD研究了激光致溅射沉积Ge2Sb2Te5薄膜的结晶行为,研究发现,与热致相变不同的是,激光致相变只发生从非晶态到FCC晶态结构的转变,从FCC到HCP的结构转变不再发生,这有利于提高相变光盘的信噪比.Ge2Sb2Te5薄膜的结晶程度受初始化功率和转速的影响.

关键词: Ge2Sb2Te5 , 激光致相变 , X射线衍射 , 面心立方

非晶Ag11In12Te26Sb51薄膜的结晶行为

刘波 , 阮昊 , 干福熹

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2002.04.015

采用初始化仪使非晶Ag11In12Te26Sb51薄膜结晶,利用差分扫描量热仪、X射线衍射和光学透过率的测量研究了非晶Ag11In12Te26Sb51薄膜的结晶行为.结果表明,非晶Ag11In12Te26Sb51膜的结晶温度约为210℃,熔化温度为481.7℃,结晶活化能Ea=2.07 eV/atom;Ag11In12Te26Sb51膜的结晶动力学遵循成核和生长机理;在激光致相变过程中可能出现的晶相有AgSbTe2、AgInTe2、Sb和Ag2Te等相;Ag11In12Te26Sb51薄膜的结晶程度受初始化功率和转速的影响.

关键词: Ag11In12Te26Sb51 , 透过率 , 激光致相变

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