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纳米薄膜脉冲激光沉积技术

李美成 , 赵连城 , 杨建平 , 陈学康 , 吴敢

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2001.04.001

简要介绍了脉冲激光薄膜沉积(PLD)技术的物理原理、独具的特点,并且介绍了在PLD基础上结合分子束外延(MBE)特点发展起来的激光分子束外延(L-MBE),以及采用L-MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果.

关键词: 脉冲激光沉积 , 纳米薄膜 , 激光分子束外延(L-MBE) , 红外探测器