李留臣
,
陈治明
,
蒲红斌
,
封先锋
,
张群社
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.035
真空系统的应用在现代科研生产领域中起着越来越重要的作用,越来越被人们所重视.真空系统设计的好坏,直接影响着晶体生长设备的成功与否,而提高真空系统的密封性,降低真空系统的漏气率是提高真空性能的主要措施.本文简要阐述了提高真空系统的密封性和降低漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,从而提高了真空系统的密封性能.
关键词:
真空
,
密封
,
漏气率
,
密封结构
