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溅射NiCrAlY涂层氧化过程Al2O3膜结构与形貌的转变

李美 , 孙晓峰 , 张重远 , 胡望宇 , 管恒荣 , 胡壮麒

腐蚀学报(英文) doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2002.03.006

对溅射NiCrAlY涂层进行了900℃,1000℃,1100℃空气中高温氧化.实验表明,氧化初期生成快速长大的亚稳态θ-Al2O3相,随着氧化时间延长,θ-Al2O3逐渐转变成α-Al2O3,氧化动力学抛物线常数k.也随之下降.θ→α-Al2O3相变速度与温度有关,温度越高,相变越快.对涂层进行真空热处理可促进θ→α-Al2O3转变,使涂层表面快速形成保护性能优异的α-Al2O3.

关键词: 溅射NiCrAlY涂层 , 高温氧化 , 相变 , 真空热处理

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