张冷
,
张维佳
,
宋登元
,
张辉
,
张雷
,
马强
,
刘嘉
,
吴然嵩
,
马晓波
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.14.003
阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数.最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,具有更广阔的应用前景.
关键词:
CIGS
,
真空
,
薄膜
,
溅射靶
张维佳
,
王天民
,
崔敏
,
金飞
,
丁照崇
,
阎兰琴
稀有金属材料与工程
采用化学共沉淀法掺金属Nb,Ta和P到ITO材料中可使ITO(Indium Tin Oxide)靶相对密度达到97%～99%,并且靶电阻率小于3.0×10-4Ω·cm,其质量损失率小于4.0%.采用直接掺杂法将TiO2纳米粉末掺入到纳米ITO粉末中可使ITO靶相对密度达到95%以上.当烧结温度为1500℃时,掺Nb,Ta,P的ITO靶电阻率稍小于纯ITO靶的电阻率.
关键词:
ITO
,
溅射靶
,
烧结剂
,
掺杂
张维佳
,
王天民
,
糜碧
,
洪轲
稀有金属材料与工程
对铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)纳米粉末的制备方法如均相共沉淀法,水溶液共沉淀法,电解法,溶胶-凝胶法,喷雾燃烧法,喷雾热分解法等以及ITO磁控溅射靶的现有几种制备工艺进行了综合评述.阐述了各种制备工艺过程和工作原理,比较和分析了各工艺方法的优缺点,并提出了制备高品质ITO粉末及ITO靶的努力方向.
关键词:
纳米粉末
,
ITO
,
溅射靶
