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TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究

韩志萍 , 闫龙 , 王玉飞 , 史志铭

硅酸盐通报

采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn2+掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn2+掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究表明,较低的工作频率下元件的湿敏性能较好;Sn2+的加入不同程度地降低了TiO2基薄膜的阻抗值,其中TiO2-15wt...

关键词: 氧化钛 , 薄膜 , 湿度敏感 , 离子掺杂