材料导报
研究了氧分压对ZnO薄膜温差电动势的影响.用直流反应磁控溅射方法成功地制备了C轴取向性能良好的ZnO薄膜.实验研究发现,温差电动势和磁温差电动势随温度的变化呈线形关系.氧分压越大,温差电动势率越小.研究结果还表明,磁温差电动势比温差电动势小.
关键词:
ZnO薄膜
,
温差电动势
,
磁温差电动势
,
PVD
,
温差电动势率
材料导报
利用直流磁控反应溅射法在Ar和O2气氛中从Cd-In合金靶上制备了三元化合物CdIn2O1薄膜(CIO),研究了不同氧浓度、基片温度和退火处理对CIO薄膜的透光率的影响以及由温差所产生的Seebeck效应,结果表明:氧浓度、基片温度越高,透光率越高;退火处理进一步提高了透光率,在可见光区域内膜的最高透光率高达95%.研究还发现,CIO薄膜的Seebeck效应非常的明显,温差电动势率最高值达0.16mV/K,这在实际应用方面有参考价值.
关键词:
CIO薄膜
,
透光率
,
Seebeck效应
,
磁控溅射
,
温差电动势率