陈飞
,
张跃飞
,
潘俊德
,
唐宾
,
窦瑞芬
,
徐重
稀有金属材料与工程
设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
关键词:
Ti-6Al-4V
,
阴极溅射
,
渗镀钽
陈飞
,
潘俊德
,
窦瑞芬
,
张跃飞
,
唐宾
,
徐重
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.01.015
研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC4(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
关键词:
TC4(Ti-6Al-4V)
,
阴极溅射
,
渗镀钽
