汤波楷
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何业东
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曹江利
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唐涛
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饶咏初
材料热处理学报
采用磁控溅射法在316L不锈钢基体上分别沉积单层Al2O3，膜、单层Au膜以及Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜。采用气相渗透法在500℃，氘分压为0．06MPa条件下测试了薄膜的阻氘性能。结果表明，3种薄膜氘渗透后，薄膜的形貌良好，无开裂、无剥落的现象，氘渗透率减低因子均比316L不锈钢基材增大一个数量级以上，阻氘效能按单层Al2O3，膜、单层Au膜以及Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜依次递升。Al2O3／Au／Al2O3层状薄膜的优异阻氘效能可归因于，延性的Au夹层使层状薄膜的力学性能得到显著提高；Al2O3层能阻止Au与基体间互扩散，使Au能充分发挥阻氘效能。本研究表明，由贵金属与陶瓷阻氚材料构成的层状薄膜是发展阻氚涂层的新途径。
关键词:
金
,
氘渗透
,
阻氚涂层
,
渗透率减低因子
