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6.5%Si渗硅工艺新进展

卢凤喜 , 王爱华

金属功能材料

介绍了化学气相沉积法(CVD)6.5%Si钢连续渗硅生产线及处理工艺进展状况,比较了6.5%Si与3%Si的磁性,简述硅钢原板的成分要求,添加Cr、Al对高频性能的影响.涂布绝缘薄膜对降低噪音的影响.

关键词: 化学气相沉积法(CVD) , 渗硅生产线 , 渗硅工艺