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混合物理化学气相沉积法制备不锈钢衬底MgB2超导厚膜样品的韧度研究

庄承钢 , 安玲 , 陈莉萍 , 丁莉莉 , 张开诚 , 陈晋平 , 徐军 , 冯庆荣 , 甘子钊

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.02.002

我们用混合物理化学气相沉积法(HPCVD)制备了一批不锈钢衬底的MgB2超导厚膜样品,厚度在10~30μm间,Tc(onset)是37.8~37.2K,超导转变宽度ΔT在1.2K左右,是(101)方向织构的致密厚膜,并有少许MgO杂相.对样品进行弯折研究,随着弯曲角度的增加,膜面出现不同程度的条状裂纹,但仍能保持膜面的基本完整;虽然样品的超导起始转变温度降低、转变温区变宽,性能有所下降,但超导特性仍能保持在一个很好的水平上.这个结果表明了采用HPCVD方法制备不锈钢衬底带材将会很好地克服MgB2超导膜由于硬脆的性质而无法绕制磁体的问题,有着十分重要的应用意义.

关键词: 混合物理化学气相沉积(HPCVD),MgB2超导厚膜,不锈钢衬底,韧度

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