王勇
,
沃银花
,
姚奎鸿
,
祝洪良
,
王耐艳
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.01.007
采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.
关键词:
氮化硅(SiN)
,
硅烷
,
流态床
,
化学气相沉积(CVD)
